大型中走絲，事實(shí)上，PDMS材料已經(jīng)廣泛應(yīng)用于生物傳感器和微流控領(lǐng)域，利用PDMS制作薄膜，PDMS與PDMS、PDMS與硅鍵合的相關(guān)加工工藝都已經(jīng)成熟，為其應(yīng)用于MEMS壓力傳感器奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。另一方面，如何提高精度和分辨率，降低雜散電容的影響依舊是測量電路的優(yōu)化重點(diǎn)。

大型中走絲，目前，商業(yè)化的MEMS壓力傳感器不能滿足氣象檢測、空間探索、生物醫(yī)學(xué)等特殊背景下的壓力測量需要, 因此對小量程壓力傳感器的研究成為必然。與其他類型的傳感器相比，電容式壓力傳感器最適合小量程測量，但還需要進(jìn)一步研究，改善其靈敏度和測量電路，使其得到廣泛的應(yīng)用。

大型中走絲，本文討論的傳感器代表了小量程MEMS電容式壓力傳感器的最新研究成果，分別針對傳統(tǒng)的平行板電容器進(jìn)行了工藝改良、結(jié)構(gòu)創(chuàng)新與電路優(yōu)化。這幾種傳感器各具特點(diǎn)但仍有不足，適合在不同領(lǐng)域中使用。

大型中走絲，通過調(diào)研發(fā)現(xiàn)，采用諸如PDMS的柔性材料作為電容式傳感器的可動(dòng)極板材料是達(dá)到小量程測量目的的一個(gè)有效途徑。與國外相比，國內(nèi)對于這方面的研究尚在起步階段，因而迫切需要投入力量，大力開展這方面的研究工作。