中走絲那個(gè)好，介紹了電容式傳感器在小量程壓力測(cè)量領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)和目前研制小量程MEMS電容式壓力傳感器的技術(shù)難點(diǎn)。從實(shí)現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程壓力測(cè)量的不同方法出發(fā)，詳細(xì)論述了國(guó)內(nèi)外的研究成果、關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用情況。

中走絲那個(gè)好，最后分析總結(jié)了小量程MEMS電容式壓力傳感器的發(fā)展方向與挑戰(zhàn)。如今，用于測(cè)量中等壓力(0.1～10 MPa)的MEMS傳感器已經(jīng)相當(dāng)成熟，并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。工作壓力低于0.1 MPa者卻不多見(jiàn)，遠(yuǎn)不能滿足小量程壓力測(cè)量需求。

中走絲那個(gè)好，小量程壓力測(cè)量主要應(yīng)用于大氣壓力測(cè)量和生物體內(nèi)部的壓力測(cè)量。氣壓測(cè)量在氣象、航空、實(shí)驗(yàn)室等條件中運(yùn)用頻繁。在氣象學(xué)領(lǐng)域里，壓力數(shù)據(jù)是估算大氣中水汽含量不可或缺的參數(shù)。

中走絲那個(gè)好，又如，根據(jù)氣壓值隨海拔高度線性降低的關(guān)系可以實(shí)時(shí)獲取航天器飛行時(shí)的高度位置信息。這些應(yīng)用領(lǐng)域的氣壓值均在一個(gè)大氣壓（0.1 MPa)以下，而且需要傳感器便攜式和集成化。